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干式真空泵維修
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Agilent安捷倫IDP-3干式渦旋泵維修IDP-3 單渦輪密封真空干泵 抽速50 Hz： 50 L/min （3m3/h） 極限壓力 3.3*10-1 mbar （2.5*10-1 Torr） 大入口壓力 1.0 個大氣壓 （0 psig） 標稱電壓下大出口壓力 1.4 個大氣壓 （6.5 psig）
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